BPS-i30


모델명 : BPS-i30


최대 압력 :1.5 bar (22 psi)


최대 유량 : 7.4 l/m (2 g/m)


최대 사용 온도 : 70℃ (158℉)


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모델별 최대 압력 / 유량


구분BPS-i30BPS-i100
BPS-200
BPS-600
BPS-4
BPS-2000
BPS-4000
High
Flow
High
Pressure
유량7.4
liter/min
20
liter/min
21
liter/min
75
liter/min
140
liter/min
140
liter/min
80
liter/min
280
liter/min
압력1.5 Bar
(22 psi)
1.6 Bar
(23.2 psi)
2.6 Bar
(37.7 psi)
3.2 Bar
(22 psi)
4.2 Bar
(22 psi)
4.2 Bar
(22 psi)
6.9 Bar
(22 psi)
6.3 Bar
(22 psi)



적용 가능 공정


공정
세부공정
CMP
1. Slurry Delivery / Mixing 
2. Post Slurry Cleaning
ECD
1. Gold Ecd (bonding pads, interconnects)
2. Copper Damascene and Patterned Copper ECD
3. Pemalloy ECD (GMR heads)
4. Solder ECD (bumping)
CLEANING
1. SWP
2. Wet(Batch)
3. CDS / Bulk Chemical Delivery
4. Batch Tool / developer Recirculation
5. Photo Resist Delivery
생명과학
1. Chemical, Cell Delivery
2. Bio processing
3. 바이오 리액터
4. Hollow-fiber 리액터
5. 여과 장치
6. 살균/무균 flow circuit

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