Chemical용


Process Technology사의 히터는 주로 Chemical과 Slurry의 온도를


사용조건에 맞출 때 사용되는 기기입니다. 대부분의 제품들이 접액부가 


테플론으로 구성되어 파티클이 생성되지 않고, 목표 온도까지 상승시킬


수 있는 성능이 매우 우수합니다. 반도체 CDS, CCSS, SWP, CMP 


Mixing 등의 공정에 공급되고 있습니다.

내용



모델
적용 가능 Chemical
Lufran / Tytan
DIW / UPW
TIH / Frontier / SHB / SHC
Chemheat / Quartz / Immersion
IPA, H3PO4, KOH, TMAH 등 각종 Chemical
SC-1, TMAH 등 각종 비인화성 Chemical


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