DI용


Process Technology사의 히터는 주로 Chemical과 Slurry의 온도를 


사용조건에 맞출 때 사용되는 기기입니다. 대부분의 제품이 접액부가 테


플론으로 구성되어 파티클이 생성되지 않고, 목표 온도까지 상승시키는 


성능이 매우 우수합니다. 반도체 CDS, CCSS, SWP, CMP Mixing 등의 


정에 공급되고 있습니다.

내용



모델
적용 가능 Chemical
Lufran / Tytan
DIW / UPW
TIH / Frontier / SHB / SHC
Chemheat / Quartz / Immersion
IPA, H3PO4, KOH, TMAH 등 각종 Chemical
SC-1, TMAH 등 각종 비인화성 Chemical


관련 상품