펌프 - BPS


Levitronix 펌프는 자기부상 원리를 사용한 Bearingless Pump로써,


파티클, 슬러리 신선도 유지 및 유량 / 압력 정밀 제어 부분에서 성능과 


품질이 검증된 원심 펌프입니다.

 


현재 국내외 유수의 장비업체를 통해 반도체, 디스플레이, 중화학공업 


등의 다양한 분야에 공급되고 있습니다.

모델별 최대 압력 / 유량


구분BPS-i30BPS-i100
BPS-200
BPS-600
BPS-4
BPS-2000
BPS-4000
High
Flow
High
Pressure
유량7.4
liter/min
20
liter/min
21
liter/min
75
liter/min
140
liter/min
140
liter/min
80
liter/min
280
liter/min
압력1.5 Bar
(22 psi)
1.6 Bar
(23.2 psi)
2.6 Bar
(37.7 psi)
3.2 Bar
(22 psi)
4.2 Bar
(22 psi)
4.2 Bar
(22 psi)
6.9 Bar
(22 psi)
6.3 Bar
(22 psi)



적용 가능 공정


공정
세부공정
CMP
1. Slurry Delivery / Mixing 
2. Post Slurry Cleaning
ECD
1. Gold Ecd (bonding pads, interconnects)
2. Copper Damascene and Patterned Copper ECD
3. Pemalloy ECD (GMR heads)
4. Solder ECD (bumping)
CLEANING
1. SWP
2. Wet(Batch)
3. CDS / Bulk Chemical Delivery
4. Batch Tool / developer Recirculation
5. Photo Resist Delivery
생명과학
1. Chemical, Cell Delivery
2. Bio processing
3. 바이오 리액터
4. Hollow-fiber 리액터
5. 여과 장치
6. 살균/무균 flow circuit

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