Pulsar


높은 공정 효율을 위한 최적의 소형 POU Heater

모델명 : Pulsar


특징 : 소형/POU Heater


용액 : 산성 및 Solvent


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내용



모델
적용 가능 Chemical
Lufran / Tytan
DIW / UPW
TIH / Frontier / SHB / SHC
Chemheat / Quartz / Immersion
IPA, H3PO4, KOH, TMAH 등 각종 Chemical
SC-1, TMAH 등 각종 비인화성 Chemical


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