ChemHeat


초순도 공정에 최적화된 O-ringless In-line Chemical heater

모델명 : ChemHeat


전략/전압 : 24kW - 312kW / 600V


사용 가능 온도 (제한) : 95℃


내압 : 689kPa


용액 : SC-1


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내용



모델
적용 가능 Chemical
Lufran / Tytan
DIW / UPW
TIH / Frontier / SHB / SHC
Chemheat / Quartz / Immersion
IPA, H3PO4, KOH, TMAH 등 각종 Chemical
SC-1, TMAH 등 각종 비인화성 Chemical


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