Lufran


PTFE heating element 사용을 통해 높은 청결도를 자랑하는 UPDI 가열용 히터

모델명 : Lufran


전력/전압 : 24kW - 312kW / 600V 


사용 가능 온도(제한) : 95℃ 


내압 : 689kPa


용액 : DIW


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내용



모델
적용 가능 Chemical
Lufran / Tytan
DIW / UPW
TIH / Frontier / SHB / SHC
Chemheat / Quartz / Immersion
IPA, H3PO4, KOH, TMAH 등 각종 Chemical
SC-1, TMAH 등 각종 비인화성 Chemical


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